• 分級孔隙度設計可實現卓越的漿料分級
• 減少導致設備損壞和產量下降的大顆粒計數 (LPC)
• 所有聚丙烯深層過濾器膠囊都具有廣泛的化學和溫度兼容性
• 通過 ISO 認證的質量管理體系驗證的質量製造
• 按照嚴格的規範構建，以提供一致性和過程可重複性

Betapure™ CMP 濾芯是針對化學機械平坦化 (CMP) 應用中使用的氧化物和金屬漿料進行優化的高容量深度過濾器。Betapure CMP 過濾器由全聚丙烯成分組成，並具有多區域“分級孔隙率”設計，可實現最佳的顆粒分類水平。

分級孔隙率優勢
Betapure CMP 系列濾芯提供分級密度或“分級孔隙率”介質，可按順序去除顆粒——從較大的顆粒開始，最後以最小的顆粒結束。介質的外層充當預過濾器，而最內層可精確去除微小顆粒。

Betapure CMP 系列濾芯通過將過濾分佈在整個介質的深處，有效地利用了介質，延長了過濾器的使用壽命，並以更少的更換次數為用戶節省了資金。分級孔隙率設計可出色地去除硬質和軟質凝膠污染物——減少缺陷並提高產量。高污染物保持能力還減少了停機時間並提高了設備的整體效率。

了解有關 CMP 系列過濾器濾芯的更多信息(PDF, 4.49 Mb)

出色地減少大顆粒計數
Betapure CMP 系列濾芯在有效去除不同尺寸顆粒的同時，還提供出色的漿料分類。這一點很重要，因為有效的漿料過濾器旨在讓特定尺寸的顆粒原封不動地通過，同時僅去除一定範圍內的不需要的顆粒。

為此，該濾芯還減少了大顆粒計數 (LPC)。當現有顆粒聚集或凝膠化時，LPC 往往會隨著時間的推移而積累。在不利的運輸條件、剪切、漿料乾燥以及與其他分配迴路組件（例如配件罐、管道、閥門和泵）的相互作用中，這種不良過程相當普遍。如果不加以解決，LPC 可能會劃傷金屬和層間電介質，從而可能導致晶圓缺陷。

Betapure CMP 系列濾芯有效地減少了 LPC，LPC 會導致設備損壞並可能降低產量，同時保持漿料的拋光特性。100% 聚丙烯材料具有廣泛的溫度和化學兼容性，可在要求苛刻的工藝應用中提供耐用性。

了解有關泥漿分配系統的更多信息(PDF, 3.53 Mb)

質量控制和產品支持
3M 致力於確保產品始終如一地表現良好。這就是為什麼它將質量控制系統集成到其工作中的原因。Betapure CMP 系列濾芯按照嚴格的規格製造，可提供一致的漿料質量，從而實現平面化工藝的可重複性。3M 產品採用通過ISO認證的質量保證計劃製造。每個墨盒都用唯一的批號進行標識，從而實現產品和組件的整體可追溯性。每個墨盒都是在清潔環境中製造和雙袋包裝的，以提供卓越的下游清潔度。

推薦應用：

半導體

• 氧化物/低k電介質
• 淺溝隔離 (STI)
• 層間電介質 (ILD)
• 多晶矽
• 鎢和銅

• 磁頭
• 鎳和玻璃基板

• 光纖

• 發光二極管 (LED)