• 3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維技術提供比平板膜更厚的膜，最大限度地提高過濾深度以降低顆粒物效率
• 通過過濾器提供低工作壓力和壓差，以減少脫氣和微氣泡的形成
• 提供聚丙烯、聚乙烯和尼龍中空纖維膜，均帶有聚乙烯籠和端蓋
• 通過消除濾芯減少滯留量和“死區”
• 減少顆粒、凝膠和微氣泡
• 提供 5nm 至 100nm 過濾等級，5” 至 20” 濾芯（請查閱數據表以了解可用性）

3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列濾芯提供聚丙烯、聚乙烯和尼龍結構的膜材料。3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列過濾器經過精心設計，將高水平的顆粒截留與高流速和低壓降相結合，適用於最新技術節點中最苛刻的應用。

3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列過濾器經過精心設計，將高水平的顆粒截留與高流速和低壓降相結合，適用於最新技術節點中最苛刻的應用。所有 3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列過濾器都經過嚴格清潔和完整性測試，可提供低可萃取水平和開箱即用的工藝可重複性。

與褶皺膜濾芯相比，3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列濾芯提供高達兩倍的表面積和更高的流速。這種流量增加和壓降降低使典型的 10 英寸 3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列過濾器濾芯的性能類似於 20 英寸傳統折疊式過濾器濾芯。這一顯著優勢允許使用更小、成本更低的過濾器外殼，從而減少滯留量、過濾器更換時間和整個過程生命週期的總擁有成本。此外，中空纖維技術提供的膜比通常用於光刻行業的平板膜厚 2 倍，從而最大限度地提高過濾深度和顆粒去除效率。

3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列濾芯提供聚丙烯、聚乙烯和尼龍膜。這提供了低金屬/離子污染和對許多化學品的出色耐受性。金屬或離子污染物可以從表面改性和製造不當的過濾器中提取出來，這可能會縮短保質期和/或改變先進化學品的感光速度、粘度或分子量。出於這個原因，所有 3M™ NanoSHIELD 中空纖維繫列過濾器都經過嚴格清潔和完整性測試，以提供低可萃取水平和開箱即用的工藝可重複性。

3M™ NanoSHIELD™ 中空纖維繫列濾芯的緊湊設計使其非常適合需要低滯留體積、卓越流速和高顆粒截留（100 nm 至 5 nm）的關鍵應用。